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北京堀場匯博隆精密儀器有限公司

流量計,流量控制器 氣體流量計,質量流量計,氣體流量控制器,質量流量控制器,氣體質量流量控制器,顯示儀,電磁閥,截止閥,管路接口等等

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北京堀場匯博隆精密儀器有限公司>>流量計,流量控制器>>S49系列>> S49 31/MTS49 31/MT高性能流量計,熱式質量了流量控制器,氣體流量計產品
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S49 31/MTS49 31/MT高性能流量計,熱式質量了流量控制器,氣體流量計產品

  • 公司名稱:
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  • 所 在 地:
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  • 瀏覽次數:
  • 北京堀場匯博隆精密儀器有限公司
  • 2017-08-10 08:01:52
  • 北京市
  • 朝陽區北苑路40號
  • 706

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【簡單介紹】

專業質量流量計/質量流量控制器研發廠家-堀場匯博隆(HORIBAMETRON)
產品適用于各種氣體,精度高,零漂小,無需矯正可任意角度安裝。
公司:
公司:www.horibametron.com

【詳細說明】

特點及主要應用領域

質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。質量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM,用于對氣體的質量流量進行精密測量。

S49 31 質量流量控制器和質量流量計特點:

☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 31 質量流量控制器和質量流量計主要應用領域:

半導體制造行業的氣體流量控制;

分析儀器設備的氣體計量與控制;

各種形式的真空鍍膜設備;

環境檢測與分析設備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制;

特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

2、S49系列質量流量控制器和質量流量計型號

S49 31 系列質量流量控制器,S49為質量流量控制器和質量流量計產品,31/MT為本公司此產品設計序列號。

其中:S49 31/MT 系列為質量流量控制器。

S49 31A/MT 系列為質量流量計。

質量流量計用于氣體質量流量精確測量計量;質量流量控制器不但具有質量流量計的測量計量功能,還具有自動控制氣體流量的功能。

執行Q/CYHMT001-2011企業標準

3 主要技術指標

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為:標準狀態mL/min (毫升/分鐘)   (SCCM行業標準);

                標準狀態L/min   (升/分鐘)(SLM行業標準)。

標準狀態為:溫度----0

            氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程值

 

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標

編號

項目

S49 31/MT

S49 31A/MT

1

流量規格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(0~1,2,3,5)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

 

3

調節閥靜止狀態

常閉

 

4

準確度

±1%F.S(10mL/min~5L/min規格,其余規格≤±2% F.S)

5

線性

±1.0%F.S,±1.5%F.S

6

重復精度

±0.2%F.S

7

響應時間

(3~4)s

8

工作壓差范圍

(0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min

9

耐壓

3MPa;           10MPa

10

工作環境溫度

5~45

11

材料

不銹鋼316L

12

標準密封材料

Viton®,    EPDM,  或其他由用戶

13

漏率

1×10-9atm.mL/s (He)

14

接頭

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),

軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其他

15

輸入輸出信號

0V~+5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)

16

供電電源

±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

134×134×38

18

重量kg

1.0

    
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