特點及主要應用領域

質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質量流量進行精密測量。

S49 31 質量流量控制器和質量流量計特點：

☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 31 質量流量控制器和質量流量計主要應用領域：

半導體制造行業的氣體流量控制；

分析儀器設備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設備；

環境檢測與分析設備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

2、S49系列質量流量控制器和質量流量計型號

S49 31 系列質量流量控制器，S49為質量流量控制器和質量流量計產品，31/MT為本公司此產品設計序列號。

其中：S49 31/MT 系列為質量流量控制器。

S49 31A/MT 系列為質量流量計。

質量流量計用于氣體質量流量精確測量計量；質量流量控制器不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體流量的功能。

執行Q/CYHMT001-2011企業標準

3、 主要技術指標

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫升/分鐘）   （SCCM行業標準）；

                標準狀態L/min   （升/分鐘）（SLM行業標準）。

標準狀態為：溫度----0℃；

            氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標